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苏州深铂维温控设备有限公司
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tcwafer

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    台湾菘启工业有限公司设计和制造温度测量解决方案,保证为您提供灵敏度、快速响应和一致的精度。台湾菘启工业有限工公司致力于以世界*流的技术服务及时提供其创新的wafer晶圆解决方案。

TC WAFER则是直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器,可以实现晶圆表面温度的实时测量。借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器,可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整天晶圆温度分布;同时,也可利用此传感器来持续监控在热处理工程中晶圆暂态温度变化,例如:升温,降温过程及延迟周期等!(温度的均匀与否,良率)

温度范围:

低温:-150 to 700°C(硅基胶粘剂)

高度:-150 to 1,200°C(焊接设计)

热电偶选型:

● Type K (精度级别±1.1°C or 0.4%) ,温度范围 -270 to 1,372°C

● Type N (精度级别±1.1°C or 0.4%), 温度范围 -270 to 1,300°C

● Type E (精度级别±1.0°C or 0.4%) ,温度范围 -270 to 1,000°C

● Type T (精度级别±0.5°C or 0.4%) ,温度范围 -270 to 400°C

● Type R/S (精度级别±1.5°C or 0.25%) ,温度范围 -50 to 1,768°C

晶圆材质:

硅、AlTiC、玻璃、陶瓷、碳化硅和其他客户提供的白板的、涂层的或图案基底。可按客户要求定制基板、形状和尺寸。

主要规格:

4寸,6寸,8寸,12寸

扩展线:可指定绝缘层材质,接头类型。密封的聚酰亚胺扁平电缆,可在大气中打到10-7托。长度有客户指定

传感器引线:长达40英尺–可定制,

被覆材质:石英 陶瓷纤维 TEF

绝缘材料:石英,聚四氟乙烯,二氧化硅,陶瓷,聚酰亚胺

线规:20 AWG – 40 A

 
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